Vanne à tiroir UHV de VAT^® en inox

• Domaine de pression:
  - 16-50 CF: de 10^-10 mbar à 2 bar
  - 63-200 CF: de 10^-10 mbar à 1,6 bar
  - 250 CF: de10^-10 mbar à 1,2 bar
• Pression différencielle à l'ouverture: < 30mbar
• Taux de fuite: interne < 10^-9mbar l/s, externe < 5 x 10^-10 mbar l/s
  
• Taux d'étuve: jusqu'à 50°/h
• Domaine de température:
  -ouvert: 100°C
  -fermé: 200°C
  -pneumatique: 200°C
• Cycles jusqu'à la première maintenance: 50.000
• Joints:
  - Clapet: joint en FPM/FKM
  - Boîtier: joint métallique
  - Mécanique:passage à soufflet
• Sans indicateur de position, sans vanne de commande
• Options: indicateur de positions, vanne de commande, raccord KF supplémentaire ( par ex. bypass)